Le CEA-Leti et Arkema créent une plateforme dédiée à la lithographie

L’industrie des semi-conducteurs prévoit le doublement des performances des composants électroniques tous les 18 mois. Mais la technologie d’impression actuelle - la lithographie – est confrontée...

Le CEA-Leti développe le concept LETI-3S (Silicon Specialty Solutions)

Rapports Scientifiques 2011 du Leti