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> Le CEA-Leti étend sa ligne de R&D 300 mm pour l'intégration 3DUn équipement de pointe dédié à l'intégration 3D
Le Leti étend sa ligne de R&D 300mm dédiée aux applications intégrations 3D. L’installation des nouveaux équipements continue jusqu’à la fin de cette année pour une inauguration officielle courant Janvier 2011.
La ligne complète comprendra des équipements de lithographie spécifique back-end, de dépôts d’isolants et de métaux, de gravure profonde, de nettoyage et de packaging notamment qui viennent se rajouter à un parc comprenant déjà des machines d’alignement, de collage, d’amincissement, de planarisation…
« L’Institut Leti est aujourd’hui reconnu mondialement comme un acteur majeur dans le développement de l’intégration 3D. La nouvelle ligne 300mm complète sera un atout essentiel pour le CEA-Leti et ses partenaires et répondra à l’ensemble des demandes d’intégration hétérogènes » a indiqué Laurent Malier, Directeur de l’Institut Leti.
