Technologies de base en lithographie

Toujours plus vite, plus petit et à moindre coût. Tels sont les maîtres mots des technologies qui façonnent et façonneront le « nano-monde ». La lithographie est aujourd’hui un outil complexe au coeur d’un procédé technologique de fabrication de micro et nano composants. Technologie pluridisciplinaire par excellence, la lithographie repousse sans cesse les limites de l’optique, de la chimie, de la mécanique, la micro et nano fluidique…

Cet ouvrage traite des technologies et procédés incontournables et principalement utilisés dans la fabrication industrielle de microprocesseurs et autres composants électroniques.

Public : Destiné aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des techniques en constante évolution.

Pour commander : consulter le site d'Hermes Sciences

La nano-lithographie

Alors que le nano-monde s’ouvre à nous, les chercheurs ont disposé ces dernières années d’un magnifique terrain de jeu pour mettre au point de nouvelles technologies destinées à façonner cet espace des nanos. Au delà des défis scientifiques qu’elles représentent, elles apparaissent comme indispensables pour transposer la miniaturisation
opérée pour la micro-électronique dans d’autres champs applicatifs, laissant entrevoir l’émergence de nouvelles fonctionnalités.
Bien plus qu’un recueil d’articles, cet ouvrage aborde aussi bien les principes physiques que les enjeux techniques et scientifiques de ces principales approches alternatives de nanolithographie.

Public : Destiné aux ingénieurs et chercheurs novices, cet ouvrage permettra également aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des technologies ayant un potentiel bien plus vaste que l’expérience de laboratoire.

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