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Imageurs optiques


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Contact : Valérie Nguyen (vnguyen@cea.fr)

Des imageurs toujours plus performants et adaptés à l’application

Le développement des technologies pour les capteurs d'images allant des rayons X aux longueurs d'onde terahertz, nécessite la maîtrise et l'association de nombreux métiers tels que de l'optique, des technologies rétines, des boitiers et de l'électronique de traitement d’images.

En 2009, le Leti s'est concentré sur l'amélioration de la détection ainsi que sur les technologies capables de réduire les coûts de production et d’optimiser le système complet caméra. Il contribue ainsi à maintenir une avance technologique à ses partenaires industriels, en menant les programmes suivants :

  • Le développement de rétines pour la détection de photons allant des rayons X jusqu'aux radiations terahertz avec des technologies CMOS, CdTe et microbolométriques.
  • L'amélioration de la détection des photons par l'ajout de technologies de type méta-matériaux aux process standards de capteurs d'images.
  • Le développement de technologies de micro-caméra, allant des dispositifs singulés jusqu’à des technologies de caméras tout wafer-level.
  • L'ouverture à de nouvelles applications telles que la gestion de l’énergie dans les bâtiments en utilisant les capteurs d'images ( de type machine vision) avec des dispositifs électroniques intégrés et de nouveaux concepts optiques.
 

Applications multiples :

Ces technologies nous permettent de répondre aux besoins de multiples applications : des caméras de téléphone portable à production de masse à des rétines pour télescopes spatiaux uniques. Les chercheurs soulignent aussi l'importance de l'intégration à l'échelle d'une tranche qui est adaptée à répondre au imageurs de type « machine vision » nécessaires pour les applications sensibles au coût.


Les connaissances du Leti sur l'intégration 3D jouent un rôle important dans ses travaux sur les capteurs d'images, qui nécessitent l'utilisation de processus bien optimisés tels que les vias traversants TSV (Through-Silicon Vias), ainsi que des modèles de l'impact électronique de ces vias. Ces travaux nécessitent également de nouveaux filtres optiques et des procédés d'amincissement du silicium pour contrôler l'effet d'ombre, la diffusion de bordure et d'autres effets optiques indésirables.



Vidéo : Le microbolomètre

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Faits marquants 2009

En 2009, le Leti a réussi à réaliser le premier champ de vision large (180°) cryogénique dans une mini-caméra refroidie avec des dispositifs optiques sténopéiques intégrés dans le système cryogénique. Il s'agit de la plus petite caméra infrarouge refroidie au monde.


Pour les capteurs d'images CMOS dédiés aux applications multimédia, le coût dépend de la taille du dispositif. Des pixels plus petits favorisent une réduction du coût des capteurs. Le défi consiste là à maintenir les performances électro-optiques lors de cette réduction d'échelle. En 2009, le Leti a également examiné le problème sous différents angles :

  • L'éclairage face arrière diminue l'effet d'ombre et améliore la luminosité.
  • L'intégration des micro lentilles lors du processus de fabrication du capteur améliore la différenciation entre les pixels,
  • Les filtres de type plasmonique intégrables au process CMOS.

VOIR AUSSI :

Mémoires  |  Capteurs  |  Composants RF et antenne
Intégration de nano-composants  |  Composants optiques intégrés  |  Imagerie X et gamma
Eclairage  |  Microécrans  |  Laboratoire sur puce
Dispositifs médicaux implantables
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