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Le CEA-Leti et Arkema créent une plateforme dédiée à la lithographie
L’industrie des semi-conducteurs prévoit le doublement des performances des composants électroniques tous les 18 mois. Mais la technologie d’impression actuelle - la lithographie – est confrontée...Le CEA-Leti développe le concept LETI-3S (Silicon Specialty Solutions)
Rapports Scientifiques 2011 du Leti
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DTC 2012 LIRE LA SUITE
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